風(fēng)途在線塵埃粒子監(jiān)測系統(tǒng)依據(jù)國標(biāo) GB/T6167-2007和校準(zhǔn)規(guī)范JJF1190-2008 的條件進(jìn)行設(shè)計(jì)與校準(zhǔn)，測量范圍、精度、重復(fù)性等關(guān)鍵指標(biāo)均嚴(yán)格達(dá)標(biāo)，有力保證了監(jiān)測數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)可靠。

系統(tǒng)一次采樣便能同時(shí)測得 0.3μm、0.5μm、1.0μm、3.0μm、5.0μm、10.0μm 六個(gè)粒徑通道的塵埃粒子數(shù)，全面覆蓋了電子生產(chǎn)環(huán)境中可能出現(xiàn)的各類污染顆粒。通過實(shí)時(shí)動態(tài)顯示功能，各粒徑通道粒子的數(shù)目及變化趨勢得以直觀呈現(xiàn)，相關(guān)人員能及時(shí)察覺環(huán)境潔凈度的波動情況。例如在半導(dǎo)體芯片制造車間，當(dāng)出現(xiàn)異常粒子增多時(shí)，工作人員可迅速響應(yīng)，排查污染源，避免對芯片生產(chǎn)造成影響。

在電子行業(yè)，生產(chǎn)設(shè)備高度精密，對環(huán)境變化極為敏感，穩(wěn)定準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)監(jiān)測至關(guān)重要。系統(tǒng)還支持?jǐn)?shù)據(jù)存儲、遠(yuǎn)程傳輸與歷史數(shù)據(jù)追溯，借助標(biāo)準(zhǔn)化的數(shù)據(jù)接口，可與其他環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)無縫對接，助力企業(yè)構(gòu)建完整的環(huán)境監(jiān)測網(wǎng)絡(luò)。

在半導(dǎo)體工廠，從晶圓制造到芯片封裝的整個(gè)過程，都對潔凈環(huán)境要求極高。風(fēng)途在線塵埃粒子監(jiān)測系統(tǒng)實(shí)時(shí)監(jiān)測車間內(nèi)塵埃粒子濃度，保證生產(chǎn)環(huán)境始終符合標(biāo)準(zhǔn)，提高芯片的良品率。對于精密機(jī)械加工車間而言，在生產(chǎn)如微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）等高精度零部件時(shí)，系統(tǒng)能夠精準(zhǔn)把控環(huán)境潔凈度，防止塵埃粒子對零部件造成損害，保障產(chǎn)品質(zhì)量。

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